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一种具有超结分裂栅的LDMOS器件制造技术
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下载一种具有超结分裂栅的LDMOS器件的技术资料
文档序号:38534687
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本发明涉及一种具有超结分裂栅的LDMOS器件,属于半导体技术领域。该器件由分裂栅区和LDMOS导电区组成,利用二氧化硅隔离层将器件两区域分隔。分裂栅区由两个尺寸、掺杂、连接方式和功能均不同的P
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该专利属于重庆邮电大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆邮电大学授权不得商用。
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