下载一种种子注入式ArF准分子激光装置的技术资料

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本发明提供一种种子注入式ArF准分子激光装置,包括全固态种子激光器,ArF准分子激光器,所述全固态种子激光器包括全固态激光器、非线性光学晶体变频器和KBe2BO3F2晶体倍频器,所述全固态激光器用于产生基频激光,所述非线性光学晶体变频器用于...
该专利属于中国科学院理化技术研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院理化技术研究所授权不得商用。

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