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本发明涉及加速度传感器技术领域，公开一种MEMS全桥差分三轴加速度传感器及其加工方法，传感器包括：上部固定组件，包括上部电极板；中部电极组件，包括中心电极块和四个敏感组件，两个敏感组件沿X轴方向分布，且可动质量块与中心电极块和中部电极块之间...
该专利属于南京元感微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过南京元感微电子有限公司授权不得商用。

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