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本发明涉及一种化学浴沉积硫化铟薄膜的方法，属于功能薄膜材料的制备技术领域。目前现有的制备硫化铟的方法，对沉积条件要求较高，需要高温加热，对沉积衬底有很大的局限性。制备硫化铟的方法采用柠檬酸或丙二酸作为络合剂，在低于１００℃的水浴环境下，即可...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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