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本发明提供了一种晶圆自旋转刷片清洗装置，涉及半导体技术领域。包括：壳体，壳体的内腔为晶圆刷片腔体；刷片组件，包括上侧毛刷组、下侧毛刷组、固定板、第一驱动装置和晶圆承载平台；上侧毛刷组包括第二驱动装置和上侧毛刷，下侧毛刷组包括第三驱动装置和下...
该专利属于苏州芯慧联半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州芯慧联半导体科技有限公司授权不得商用。

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