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本发明公开了一种大幅提高设备稼动率的晶圆传送方法，基于晶圆传送系统，所述系统包括：晶圆传送装置；以及手臂，设置于晶圆传送装置和外部晶圆制程腔室之间；所述方法包括以下步骤：手臂在其中一组承载组件上取放晶圆时，根据实际需求手臂在第一晶圆定位栓和...
该专利属于成都海威华芯科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过成都海威华芯科技有限公司授权不得商用。

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