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本实用新型涉及晶圆定向技术领域，且公开了大尺寸晶圆定向装置，包括定位盒，定位盒的内部中心处转动设有转轴，定位盒的底部固定设有电机，转轴的下端与电机的输出端固定连接，定位盒的顶部设有开口，且开口处设有旋转平台，旋转平台的下表面与转轴的上端固定...
该专利属于江苏美伦光电有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏美伦光电有限公司授权不得商用。

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