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用于分子束外延腔体中的磷回收单元、系统及回收方法技术方案
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下载用于分子束外延腔体中的磷回收单元、系统及回收方法的技术资料
文档序号:38516658
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本发明涉及一种用于分子束外延腔体中的磷回收单元、系统及回收方法,其中用于分子束外延腔体中的磷回收单元包括:磷回收模块,磷回收模块内部形成磷回收腔体,磷回收腔体连接有第一通道,第一通道用于连接MBE系统腔体,第一通道上设置有第一隔离元件;磷回...
该专利属于苏州焜原光电有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州焜原光电有限公司授权不得商用。
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