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本实用新型涉及砷化镓晶片加工技术领域，尤其为一种砷化镓晶片单面精抛装置，包括箱体、控制面板、观察门和转盘，所述转盘的上端面固定连接有抛光盘，所述箱体的内壁固定连接有限位结构，所述限位结构的内侧设置有镜片放置座，所述镜片放置座设置在抛光盘的上...
该专利属于江苏中科晶元信息材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏中科晶元信息材料有限公司授权不得商用。

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