下载一种双柜自动化晶体生长设备的技术资料

文档序号:38508342

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本发明公开了一种双柜自动化晶体生长设备,属于晶体制造技术领域,其包括柜体和电控柜,所述柜体的内壁固定安装有炉体,所述炉体的顶部设置有坩埚,所述炉体的下方设置有干燥室。本方案通过采用了电控柜独立的方式,实现了反应和控制分离的双柜设计方案,通过...
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