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本公开提供一种接触结构及其制备方法。该接触结构包括一凹槽结构，其中该凹槽结构包括一基底，具有从该基底的一最上表面延伸到该基底中的一凹槽；一导电特征，填充在该凹槽结构的该凹槽中；一第一功能层，在该导电特征与该凹槽结构之间延伸，并包括一第一元件...
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