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本发明公开一种具有冷热回收功能的洁净室及其冷热回收方法，属于半导体洁净室技术领域，包括新风系统、排气系统和冷热回收系统，冷热回收系统包括换热器、循环管路和循环泵组，换热器中一换热通路连接循环管路，换热器中另一换热通路连接排气系统，换热器用于...
该专利属于北京格林特克环保能源科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京格林特克环保能源科技有限公司授权不得商用。

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