一种具有冷热回收功能的洁净室及其冷热回收方法技术

本发明专利技术公开一种具有冷热回收功能的洁净室及其冷热回收方法，属于半导体洁净室技术领域，包括新风系统、排气系统和冷热回收系统，冷热回收系统包括换热器、循环管路和循环泵组，换热器中一换热通路连接循环管路，换热器中另一换热通路连接排气系统，换热器用于将循环管路内的循环水与排气系统的排气进行热交换，循环管路连通新风系统的预热盘管，通过循环泵组驱动循环水流动，将排气的冷量或热量传递到预热盘管。本发明专利技术利用换热器吸收排气系统的热量或冷量，并将吸收的热量或冷量应用到新风系统，能够对洁净室正常工作所排放的热量或冷量进行回收，同时，将回收的能量再应用到洁净室，从而能够减少能量浪费，降低洁净室的能量损耗。耗。耗。

【技术实现步骤摘要】
一种具有冷热回收功能的洁净室及其冷热回收方法


[0001]本专利技术涉及半导体洁净室
，特别是涉及一种具有冷热回收功能的洁净室及其冷热回收方法。

技术介绍

[0002]集成电路和薄膜晶体液晶显示器为代表的电子工厂能耗巨大，其洁净室需要控制室内的温度、湿度、洁净度、压力、噪音振动、照度、静电在设定范围内，并根据工艺需求将工艺机台产生的有害气体、微粒子等污染物排出室外。
[0003]通常洁净室内系统由新风系统内MAU机组处理好新风，新风经过初中效过滤、预冷、预热、水洗段、再冷段、再热段，高效，化学段处理后送入洁净室内。洁净室内DCC系统对各区域内空气显热进行处理，FFU系统维持洁净室内空气循环，并对循环空气进行过滤，保证室内洁净度和吊顶内微正压。室内各功能区机台生产运行，会产生有害气体和微粒子，需要工艺排气系统对各区域进行排气，来保证洁净室内人员和机台设备正常运营环境。工艺排气在排走废气同时也会排走大部分洁净空气，该部分空气温度约在23℃。
[0004]现有技术中，直接通过MAU机组处理新风至设定温度、湿度、洁净度的新风，送至本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有冷热回收功能的洁净室，其特征在于：包括新风系统、排气系统和冷热回收系统，所述冷热回收系统包括换热器、循环管路和循环泵组，所述换热器中一换热通路连接所述循环管路，所述换热器中另一换热通路连接所述排气系统，所述换热器用于将所述循环管路内的循环水与所述排气系统的排气进行热交换，所述循环管路连通所述新风系统的预热盘管，通过所述循环泵组驱动所述循环水流动，将所述排气的冷量或热量传递到所述预热盘管。2.根据权利要求1所述的具有冷热回收功能的洁净室，其特征在于：包括洗涤塔前旁通管路和集管旁通管路，所述洗涤塔前旁通管路和所述集管旁通管路分别包括排气管旁通管路，所述换热器安装在所述排气管旁通管路上，所述排气管旁通管路上设置有排气温度传感器。3.根据权利要求1所述的具有冷热回收功能的洁净室，其特征在于：所述循环管路上设置有水管上温度传感器，所述水管上温度传感器位于所述换热器的出水侧。4.根据权利要求1所述的具有冷热回收功能的洁净室，其特征在于：所述循环管路通过旁通形式或直接连通形式连接所述预热盘管。5.根据权利要求1所述的具有冷热回收功能的洁净室，其特征在于：所述新风系统包括按照进风方向顺次设置的初效过滤段、中效过滤段、预热段、预冷段、加湿水洗段、再冷段、再热段、风机段、第一高效过滤段、第二高效过滤段、化学过滤段和风阀，所述风阀通过风管通向洁净室内，所述风管上设置有开关风阀，所述风管的出口处设置有调节风阀。6.根据权利要求5所述的具有冷热回收功能的洁净室，其特征在于：所述新风系统的进风口处设置有新风温度传感器。7.根据权利要求1所述的具有冷热回收功能的洁净室，其特征在于：所述排气系统包括酸废气...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈辉，姜焕，李武辉，徐震，邓杰文，刘威，
申请(专利权)人：北京格林特克环保能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：