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本发明涉及一种晶化硅纳米棒阵列的制备方法，属于纳米硅材料的制备与应用技术领域。首先将清洗后的衬底放入真空腔的衬底架上，以高纯钨丝或钽丝作为热丝源，加热热丝，向真空腔中通入氢气和硅烷的混合气体作为反应气体，入射气流穿过所述的热丝源，衬底旋转。...
该专利属于中国科学院研究生院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院研究生院授权不得商用。

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