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一种垂直磁各向异性薄膜制造技术
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下载一种垂直磁各向异性薄膜的技术资料
文档序号:3849672
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一种垂直磁各向异性薄膜,其易磁化轴方向垂直于薄膜平面,属于磁性材料领域。其特征在于:薄膜组分为Tb↓[x](Co↓[2]FeZ)↓[y],其中Z为Al、Si等元素,Co↓[2]FeZ为半金属Heusler合金组分,Tb和Fe原子的比例x∶y...
该专利属于北京科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京科技大学授权不得商用。
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