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本发明提供一种喷头及薄膜制备装置，喷头设有分气流道、第一扩幅腔、第一扩散流道、第二扩幅腔、第二扩散流道、匀压腔及出气口，分气流道与第一扩幅腔连通，第一扩幅腔通过第一扩散流道与第二扩幅腔连通，第二扩幅腔通过第二扩散流道与匀压腔连通，匀压腔与出...
该专利属于华中科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过华中科技大学授权不得商用。

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