下载半导体芯片、其制备方法及电子设备的技术资料

文档序号:38473763

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本申请公开了一种半导体芯片、其制备方法及电子设备。其中,该半导体芯片,包括衬底和位于衬底上的Fin FET;Fin FET包括:鳍部、横跨鳍部且相对设置的两个侧墙以及位于两个侧墙所限定的沟槽中的栅极结构;栅极结构包括依次层叠设置的栅介电层和...
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