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本发明涉及抛光设备技术领域，特别是关于一种集成外转子式直驱抛光机转台装置。支撑轴承的内圈固定安装于转子轴盘，支撑轴承的外圈固定安装于轴承座内，抛光盘安装于转子轴盘上，支撑轴承为转子轴盘和抛光盘提供精密的旋转支撑；直驱电机定子通过支撑盘安装于...
该专利属于清华大学所有，仅供学习研究参考，未经过清华大学授权不得商用。

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