下载一种高线性度GaN晶体管及制备方法的技术资料

文档序号:38468264

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本发明公开了一种高线性度GaN晶体管,包括衬底,以及设于衬底上的HEMT外延层、源电极、漏电极和环形栅电极;HEMT外延层包括外延源区、外延漏区和若干鳍部,若干鳍部位于外延源区和外延漏区之间,且两端分别与外延源区和外延漏区连接;源电极和漏电...
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