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本发明公开了一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，包括如下步骤：将硅片粗抛、制绒，制绒后绒面尺寸≤5μm；清洗后烘干或甩干，接着进行硼扩发射极的制备，并进行刻蚀；沉积氧化硅、本征多晶硅；对硅片进行高温处理，并进行磷掺杂；然后对处理后的硅片进行绕...该专利属于赛勒斯新能源科技（苏州）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过赛勒斯新能源科技（苏州）有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，包括如下步骤：将硅片粗抛、制绒，制绒后绒面尺寸≤5μm；清洗后烘干或甩干，接着进行硼扩发射极的制备，并进行刻蚀；沉积氧化硅、本征多晶硅；对硅片进行高温处理，并进行磷掺杂；然后对处理后的硅片进行绕...