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本发明公开了锑化铟晶片的退火工艺，包括：将锑化铟晶片依次摆放在石英舟上，然后将石英舟放入石英管内；石英管包括管体和石英帽；在石英帽中放入锑；将石英管密封后抽真空，达到预设真空度以下后，向石英管中充入惰性气体或氮气；将石英管放入退火炉中，开启...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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