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本发明提供一种近似垂直于晶圆面的绿光超快激光束晶圆减薄方法和系统，所述方法包括步骤：1)将晶圆的功能面贴膜后吸附固定于真空吸附装置上；所述真空吸附装置水平固定于可移动承载台上；所述可移动承载台能够沿X轴、Y轴和Z轴移动，并可以自转；2)设置...
该专利属于北京赢圣科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京赢圣科技有限公司授权不得商用。

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