下载具有投射衬垫的相变存储器单元的技术资料

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一种半导体结构(100),包括:被第二电介质层(114)包围的加热器(116);在第二电介质层(114)的顶部上的投射衬垫(124);以及在投射衬垫(124)上方的相变材料层(126)。投射衬垫(124)的顶表面与加热器(116)的顶表面基...
该专利属于国际商业机器公司所有,仅供学习研究参考,未经过国际商业机器公司授权不得商用。

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