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本发明提供一种晶圆外观自动检测装置，一种晶圆外观自动检测装置，包括：检测底座、转动单元、检测单元、控制轨道、控制组件等组件，通过检测单元能够对晶圆表面进行厚度以及划痕检测，通过设置控制组件能够控制晶圆在检测过程中翻转180
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该专利属于安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽富乐德长江半导体材料股份有限公司授权不得商用。

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