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本发明一种制备有序Ａｌ纳米颗粒的方法，其特征在于，包括如下步骤：１）取一衬底；２）在衬底上旋涂一层聚甲基丙烯酸甲酯；３）利用电子束曝光在聚甲基丙烯酸甲酯上制备模板，形成所需图案；４）利用高纯Ａｌ靶作为金属Ａｌ薄膜沉积的溅射靶，在模板及暴露出...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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