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一种柔性薄膜晶体管及其制备方法技术
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文档序号:3844672
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本发明公开一种柔性薄膜晶体管的结构和制备方法。该柔性薄膜晶体管不 仅包括基底、隔绝层、栅极、栅极绝缘层、源极、漏极,还包括形成于隔绝层上 的保护层。该保护层采用与隔绝层材料溶于不同溶剂的材料,保护隔绝层不会受 到后续工艺过程中的酸、碱、有机...
该专利属于邱勇;刘嵩所有,仅供学习研究参考,未经过邱勇;刘嵩授权不得商用。
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