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一种柔性薄膜晶体管及其制备方法技术

技术编号:3844672 阅读:188 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
本发明专利技术公开一种柔性薄膜晶体管的结构和制备方法。该柔性薄膜晶体管不 仅包括基底、隔绝层、栅极、栅极绝缘层、源极、漏极,还包括形成于隔绝层上 的保护层。该保护层采用与隔绝层材料溶于不同溶剂的材料,保护隔绝层不会受 到后续工艺过程中的酸、碱、有机溶剂等的破坏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种柔性薄膜晶体管(TFT, Thin Film Transistor)的结构和制备 方法。
技术介绍
可弯曲显示技术使显示器件的设计不再局限于平面化,而是提供多元的外形 与设计,而轻薄、耐冲击的特性则适用于移动电话、PDA或笔记本电脑等便携式 产品。这类显示器件柔软可变形且不易损坏,可以安装在弯曲的表面,可以制 成人们梦寐以求的电子报刊、墙壁电视、可穿戴的显示器,淋漓尽致的展现 出有机半导体的魅力。除此之外,开发柔性显示器件的另一重要因素在于其工艺可以由Sheet-fed Batch Processing (分批装片式制程)转换成Roll-to-Roll Manufacturing (滚 动条式制程),意味着显示器件的制造成本可大幅降低。与纸张相似的厚度及柔 性、数字电子媒体的信息可更新性、机械向性能上的优点、制造成本的优势,柔 性显示器件极有可能替换目前的平面显示器件,在新兴市场取得商机。TFT-LCD (液晶显示器)是指液晶显示器上的每一液品像素点都是由集成在 其后的薄膜晶体管来驱动,利用扫描的方法任意控制一个显示点的ON/OFF,从 而可以做到高速度、高亮度、本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种柔性薄膜晶体管,包括: 基底、栅极、栅极绝缘层、源极和漏极,还包括形成在基底上的隔绝层,其特征在于,在所述隔绝层上还形成有保护层,该保护层选用与隔绝层材料溶解于不同溶剂的材料。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:邱勇刘嵩
申请(专利权)人:邱勇刘嵩
类型:发明
国别省市:11

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