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本发明提供了一种干法刻蚀制备侧壁加热电极的方法，包括以下步骤：S1）在衬底上依次形成绝缘介质层、加热电极层与光刻胶层，得到中间体；S2）将所述中间体进行曝光和显影，得到侧壁具有光刻胶保护层的衬底；S3）将所述侧壁具有光刻胶保护层的衬底进行干...
该专利属于江苏鲁汶仪器股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鲁汶仪器股份有限公司授权不得商用。

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