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提供了流体分配装置、薄膜沉积设备、相关的系统和方法。流体分配装置包括：扩展区域，该扩展区域包括子区域，该子区域用于经由被布置在每个子区域上的至少一个进口接收流体流，使得流体流在基本上朝向彼此的方向上传播经过所述子区域；过渡区域，在该过渡区域...
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