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本申请涉及抛光技术领域，尤其是涉及一种抛光液滴液装置，用于对抛光盘进行补充抛光液，包括：滴液机构，所述滴液机构具有多组，每组所述滴液机构均具有滴液部，每个所述滴液部位于所述抛光盘的上方，多个所述滴液部关于所述抛光盘的圆心呈中心对称分布，所述...
该专利属于浙江晶盛创芯半导体设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江晶盛创芯半导体设备有限公司授权不得商用。

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