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本实用新型公开了一种高精度半导体设备气体喷淋头，属于气体喷淋头领域。一种高精度半导体设备气体喷淋头，包括：喷淋头本体，所述喷淋头本体上部连接有连接管，所述连接管内侧腔体部位由上到下依次设置有过滤板、喷淋板；本实用新型中，通过在喷淋头本体的侧...
该专利属于苏州金琳芯半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州金琳芯半导体科技有限公司授权不得商用。

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