下载共振器、线性加速器配置以及具有环形共振器的离子植入系统的技术资料

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一种装置可包括被布置成发射离子束的漂移管总成。所述漂移管总成可包括:第一接地电极;射频(RF)漂移管总成,设置在第一接地电极的下游;以及第二接地电极,设置在射频漂移管总成的下游。所述射频漂移管总成可界定三重间隙配置。所述装置可包括共振器,其...
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