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利用几何模型进行3D临界尺寸测量制造技术
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下载利用几何模型进行3D临界尺寸测量的技术资料
文档序号:38427196
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方法包括:获取模型样本的体积的一系列图像或光谱;使用一系列图像重建模型样本的体积的3D图像;通过形成重建的3D图像的分割并且将一个或多个原始几何形状拟合到分割来构建模型样本的体积的3D模型;获取测试样本图像或光谱;以及使用构建的3D模型测量...
该专利属于FEI公司所有,仅供学习研究参考,未经过FEI公司授权不得商用。
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