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包括整合在碳化物主体的多晶钻石尖端的高平整度接合工具制造技术
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下载包括整合在碳化物主体的多晶钻石尖端的高平整度接合工具的技术资料
文档序号:38426999
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本发明揭示了一种用于安装半导体组件的接合工具。本发明提供了一种接合工具,其被结合至接合装置的支架以热压布线组件和半导体组件,该接合工具的特征在于,包括:单一碳化物主体,其具有形成在其一侧的支架结合部以结合至该接合装置的支架上,该单一碳化物主...
该专利属于日进金刚石株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过日进金刚石株式会社授权不得商用。
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