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本发明公开了一种内循环式碳化硅晶体生长炉，涉及碳化硅晶体生长炉技术领域，包括炉体，炉体内设有石墨坩埚，石墨坩埚由共轴设置的外坩埚和内坩埚组成，内坩埚的内部形成上升通道，外坩埚和内坩埚之间形成回流通道，内坩埚的底部周向上设有多个回流孔；上炉盖...
该专利属于芜湖予秦半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过芜湖予秦半导体科技有限公司授权不得商用。

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