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本申请提供一种MEMS振荡器，包括：第一谐振子和第二谐振子、测温件、加热部件和控制单元；第一谐振子在振动时提供第一频率信号以用于获取所处位置的实时温度，第二谐振子在振动时提供第二频率信号以用于获取预设频率信号；测温件在工作时用于环境测温以提...
该专利属于麦斯塔微电子（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过麦斯塔微电子（深圳）有限公司授权不得商用。

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