下载一种蓝宝石衬底分子束外延红外探测器材料制备方法的技术资料

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本发明公开了一种蓝宝石衬底分子束外延红外探测器材料制备方法,包括:提供一面为图形化而另一面为微透镜阵列结构的蓝宝石衬底,在图形化面上依次生长成核层、过渡层、N型重掺杂接触层、吸收层、势垒层和N型重掺杂接触层。与GaSb和InAs衬底相比,蓝...
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