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一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法技术方案
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下载一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法的技术资料
文档序号:38415280
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本发明公开了一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法,包括:制作有Ti图案的芯片、惰性阴极、直流电源和电解液;芯片与惰性阴极置于电解液内,芯片连接在直流电源的正极上,惰性阴极连接在直流电源的负极上;开启直流电源,将Ti氧化成TiO2...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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