一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法技术方案

本发明专利技术公开了一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法，包括：制作有Ti图案的芯片、惰性阴极、直流电源和电解液；芯片与惰性阴极置于电解液内，芯片连接在直流电源的正极上，惰性阴极连接在直流电源的负极上；开启直流电源，将Ti氧化成TiO2，完成加载条型光波导的制备。本发明专利技术基于阳极氧化法制备的TiO2加载条具有效果好、速度快、成本低等优点。成本低等优点。成本低等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法


[0001]本专利技术涉及光波导制备
，具体涉及一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统及方法。

技术介绍

[0002]选择性氧化难熔金属(SORM)制备LN波导的方法是一种常见的制备方法。这种方法首先在LNOI衬底上制备一层难熔金属薄膜(通常使用铬、钼、钨等材料)，然后使用光刻技术将需要制备波导的区域暴露出来；接着，将样品放置在氧化剂环境中进行氧化，只有暴露的区域才会被氧化形成金属氧化物，而覆盖有金属薄膜的区域则不会被氧化；最后，使用化学溶剂将未被氧化的难熔金属薄膜去除，留下形成的金属氧化物波导结构。这种方法可以获得光滑的侧壁和较小的弯曲半径，从而提高波导性能和器件集成度。
[0003]TiO2作为一种有前景的光子材料受到了广泛的关注，在1.55μm波长下TiO2的折射率约为2.3，与LN的折射率相近。TiO2作为带状加载层与LN层结合可以有效地形成复合带状波导，这就避免了直接蚀刻LN的困难。在复合条形波导中，LN层是有源区，优化的结构可以使大部分能量限制在有源区(LN层)。因本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统，其特征在于，包括：制作有Ti图案的芯片、惰性阴极、直流电源和电解液；所述芯片与惰性阴极置于所述电解液内，所述芯片连接在所述直流电源的正极上，所述惰性阴极连接在所述直流电源的负极上；开启所述直流电源，将Ti氧化成TiO2，完成加载条型光波导的制备。2.如权利要求1所述的基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统，其特征在于，所述芯片的衬底包括铌酸锂、硅、砷化镓中的一种。3.如权利要求1所述的基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统，其特征在于，所述惰性阴极包括石墨、铂金、不锈钢中的一种。4.如权利要求1所述的基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统，其特征在于，所述电解液包括NaHCO3、H2SO4中的一种。5.如权利要求1所述的基于阳极氧化法制备加载条型光波导的系统，其特征在于，Ti氧化成TiO2的过程中，直流电压为90
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110V，电解液温度为控制在25
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30℃之间，电解液浓度为0.4
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0.6mol/L，氧化时间为1
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2h。6.一种基于阳极氧化法制备加载条型光波导的方法，其特征在于，包括：制备形成有Ti图案的芯片；将芯片与惰性阴极同时置于电解液内，且将芯片连接在直流电源的正极上...

【专利技术属性】
技术研发人员：王智勇，向美华，张旭涛，杨登才，杨锋，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：