下载一种大面积连续双面处理的等离子体装置及其处理方法的技术资料

文档序号:38410896

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本发明提供一种大面积连续双面处理的等离子体装置及其处理方法,包括上等离子体电极和下等离子体电极,共用地电极为承接台;上等离子体电极和下等离子体电极等距安装在地电极上下两侧,通过共用的地电极实现同时放电;上等离子体电极和下等离子体电极分别与上...
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