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本实用新型公开了一种晶圆加热冷却装置，包括分离装置、加热装置和冷却装置，分离装置包括箱体和架体，所述箱体内部中空，所述箱体设置有第一工位，所述架体设置有第二工位，所述架体和所述箱体滑动连接，以使所述第二工位能滑入所述箱体的内部，或滑出所述箱...
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