下载一种适用于B1频段MEMS谐振器匹配构件的技术资料

文档序号:38410137

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本实用新型公开了一种适用于B1频段MEMS谐振器匹配构件,包括自上而下层叠设置的第一金属层至第五金属层和第一介质材料层至第四介质材料层;第一金属层和第四金属层之间设有第一集成电感至第四集成电感,第一金属层至第四金属层上均设有多个金属布线,第...
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