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一种双通道输出镀率侦测装置制造方法及图纸
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下载一种双通道输出镀率侦测装置的技术资料
文档序号:38403460
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本实用新型提供了一种双通道输出镀率侦测装置,包括有输出通道载盘、电极载盘和晶振片载盘,输出通道载盘固定在电机的外壳上,电极载盘和晶振片载盘由电机轴带动旋转,且晶振片载盘设置在电极载盘远离输出通道载盘的一侧;输出通道载盘连接有电源模块,晶振片...
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