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公开了一种斜面结构的形成方法,其特征在于,包括:S1:在基底上形成绝缘层;S2:在绝缘层上形成光刻胶层;S3:选择性的曝光所述光刻胶层,形成图案化的光刻胶层,裸露待刻蚀的部分绝缘层的上表面;S4:以所述图案化的光刻胶为掩膜,刻蚀裸露的绝缘层...该专利属于矽力杰半导体技术(杭州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过矽力杰半导体技术(杭州)有限公司授权不得商用。
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公开了一种斜面结构的形成方法,其特征在于,包括:S1:在基底上形成绝缘层;S2:在绝缘层上形成光刻胶层;S3:选择性的曝光所述光刻胶层,形成图案化的光刻胶层,裸露待刻蚀的部分绝缘层的上表面;S4:以所述图案化的光刻胶为掩膜,刻蚀裸露的绝缘层...