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本申请涉及光学设备技术领域，特别涉及一种真空用X射线精密狭缝运动装置，包括外腔体，所述外腔体采用防X射线辐射板，所述外腔体内部设置有狭缝机构，所述狭缝机构包括安装板以及滑动安装于安装板内的狭缝；所述狭缝和安装板之间设置有线性压电平台，所述线...
该专利属于定荣科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过定荣科技（上海）有限公司授权不得商用。

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