一种真空用X射线精密狭缝运动装置制造方法及图纸

本申请涉及光学设备技术领域，特别涉及一种真空用X射线精密狭缝运动装置，包括外腔体，所述外腔体采用防X射线辐射板，所述外腔体内部设置有狭缝机构，所述狭缝机构包括安装板以及滑动安装于安装板内的狭缝；所述狭缝和安装板之间设置有线性压电平台，所述线性压电平台能够驱动狭缝在X向和Y向产生位移，实现X射线光束大小的调节；本申请采用的整个腔体外壳采用防X射线辐射材质，可以有效屏蔽X射线辐射，且本申请应用于X射线光束形状调节大小，通过纳米位移台来驱动钨挡块上下/左右位移，实现调节X射线光束大小，最大可实现10

【技术实现步骤摘要】
一种真空用X射线精密狭缝运动装置


[0001]本申请属于光学设备领域，特别涉及一种真空用X射线精密狭缝运动装置。

技术介绍

[0002]微束是指能输出束流径向尺寸在微米或亚微米量级的装置。微束能以微米级的空间分辨在预定位置注入确定的辐射剂量，最低达到单个离子的辐照水平，是开展辐射生物学研究的有力工具，对人类癌症预防和宇航员健康保障研究都有着重要意义。同时，基于微束开发的无损绘图分析技术，如质子诱发x射线分析技术(PIXE)、卢瑟福背散射分析技术(RBS)、核反应分析技术(NRA)和粒子扫描显微分析技术(STIM)等，在材料研究、环境科学、考古学和生命科学等领域都有着广泛的应用。
[0003]狭缝是微束的核心元件之一。第一代微束使用多组狭缝元件来搭建，已足以将加速器束流限制在微米的量级；而现代微束装置大部分使用多组狭缝和电磁场聚焦组合的设计方式，能够获得更小的束斑尺寸和更大的流强。
[0004]目前，四刀狭缝和楔形狭缝是微束领域最为经典的狭缝设计类型，但是这两类狭缝也存在不足之处。四刀狭缝采用与运动方向呈90<br/>°
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空用X射线精密狭缝运动装置，包括外腔体（2），其特征在于，所述外腔体（2）采用防X射线辐射板；所述外腔体（2）内部设置有狭缝机构（5），所述狭缝机构（5）包括安装板（501）以及滑动安装于安装板（501）内的狭缝，所述狭缝和安装板（501）之间设置有线性压电平台（507），所述线性压电平台（507）能够驱动狭缝在X向和Y向产生位移，实现X射线光束大小的调节。2.根据权利要求1所述的一种真空用X射线精密狭缝运动装置，其特征在于，所述外腔体（2）两侧分别设置有第一门板（3）和第二门板（4），所述第一门板（3）和第二门板（4）分别位于外腔体（2）的连接位置均设置有密封圈（6），所述第一门板（3）和第二门板（4）也采用防X射线辐射板，能够保证外腔体内部形成真空空间。3.根据权利要求2所述的一种真空用X射线精密狭缝运动装置，其特征在于，所述第二门板（4）内壁固定安装有垫板（502），所述垫板（502）一侧对称开设有凹槽（510）。4.根据权利要求3所述的一种真空用X射线精密狭缝运动装置，其特征在于，所述外腔体（2）、第一门板（3）、第二门板（4）以及垫板（502）、安装板（501）内居中位置均开设有能够使X射线穿透的过孔，所述垫板（502）内开设有定位孔（511）。5.根据权利要求1所述的一种真空用X射线精密狭缝运动装置，其特征在于，所述安装板（501）两面均对称开设有安装槽（512），所述线性压电平台（507）均固定安装于安装槽（512）内，所述安装板（501）内依次开设有第一安装孔（503）和第二安装孔（504），所述第一安装孔（503）用于安装板（501）和线性压电平台（507）的连接紧固，所述第二安装孔（504）用于安装板（501）和垫板（502）的...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹超，胡荣朝，许治伟，解修军，潘成伟，
申请(专利权)人：定荣科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：