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本公开提供一种废气处理装置，包括罐体和冷却管，罐体内具有容置空间，罐体上设置有进气口、排气口、进液口和出液口，进气口与排气口通过容置空间连通，冷却管从进液口延伸至容置空间内并从出液口伸出，容置空间内设置有过滤部件，冷却管包括冷凝容置空间内气...
该专利属于杭州富芯半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过杭州富芯半导体有限公司授权不得商用。

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