下载一种深阱型SiCMosfet器件及制备方法的技术资料

文档序号:38372003

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本发明公开了一种深阱型SiC Mosfet器件及制备方法,该器件包括:SiC衬底、SiC外延层、SiC外延层上设置的P+深阱、沟槽、P
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