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基于二维微焦准直的微小内腔尺寸与三维坐标传感方法与装置制造方法及图纸
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下载基于二维微焦准直的微小内腔尺寸与三维坐标传感方法与装置的技术资料
文档序号:3836901
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基于二维微焦准直的微小内腔尺寸和三维坐标传感方法与装置属于精密仪器制造及测量技术领域,特别是一种“亚宏观”领域中对微小、复杂内腔尺寸和三维坐标的传感方法与装置,尤其适用于大深径比微小盲孔的三维探测,本发明将微球面双凸透镜与光纤探针测杆结合,...
该专利属于哈尔滨工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。
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