下载基于二维微焦准直的微小内腔尺寸与三维坐标传感方法与装置的技术资料

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基于二维微焦准直的微小内腔尺寸和三维坐标传感方法与装置属于精密仪器制造及测量技术领域,特别是一种“亚宏观”领域中对微小、复杂内腔尺寸和三维坐标的传感方法与装置,尤其适用于大深径比微小盲孔的三维探测,本发明将微球面双凸透镜与光纤探针测杆结合,...
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