温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本实用新型公开了一种卧式热丝化学气相沉积设备，包括镀膜室、导电组件、输送组件及供气组件，导电组件包括导电端子与第一隔热件，导电组件设置有多个并沿水平方向呈阵列式排布，导电组件通过热丝与导电体连接形成串联回路，输送组件用于承载并沿水平方向输送...
该专利属于深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。